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半導體晶圓運送解決方案

我們的晶圓盒可安全且高效地運送各種不同晶圓, 包括矽晶圓, 薄膜化晶圓, 砷化鎵晶圓, 藍寶石晶圓和連帶框架的晶圓。

亦準備了使用低顆粒, 低離子素材的專用隔離墊片和緩衝墊片。

產品名稱	Protos晶圓盒
用途	各種半導體晶圓運送用, 如中央處理器, 內存, 閃存, 模擬, 電源, 圖像傳感器, MEMS等。
特徵	保護晶圓在運送過程中免受衝擊穩定的導電性能（ANSI / ESD 標準）高清潔度（低顆粒, 低離子污染, 低釋氣）

晶圓尺寸	產品編號	晶圓存放數量 (片)	鎖定機制	表面電阻 / 材料	外尺寸 (mm)	有效存放高度 (mm)	有效存放直徑 (mm)	特徵
4 吋	MA-4	25	扭鎖式	＜1.0×10⁶Ω 導電 PP	150×150×H91	47.9	103±1
5 吋	MA-5				150×150×H91	49.6	128±1
6 吋	MA-6S				175×175×H63	38	153±1	即使在纖薄的設計中也能存放 25 枚晶圓
8 吋	MA-8S				226×226×H65	38	203±1	即使在纖薄的設計中也能存放 25 枚晶圓
8 吋	MA-8M		卡扣式	1.0×10⁴Ω＜R＜1.0×10⁹Ω 導電 PP	226×226×H93	69	202±1	可存放 26 個環形墊片 (25 枚晶圓)
12 吋	NA-12F				328×328×H76	44	302±1
	NA-300LA				328×328×H76	45	302+1	四個壓縮片輕輕固定晶圓邊緣, 防止在運送過程中的橫向滑動
	SS-12ST	1	夾扣式	1.0×10⁴Ω＜R＜1.0×10⁹Ω PC+ST-Poly	317×317×H21	0.9	302+0.5/1.5	也可用作晶圓檢查托盤

水平式放置晶圓盒（HWS）

MA系列

NA系列

SS系列 (單片)

帶框貼膜晶圓盒（FFS）

晶圓尺寸	產品編號	晶圓存放數量 (片)	鎖定機制	表面電阻 / 材料	外尺寸 (mm)	有效存放高度 (mm)	有效存放直徑 (mm)	特徵
6 吋	ND-6N	13	扭鎖式	＜1.0×10⁶Ω 導電 PP	252×252×H81	40	230±1
6 吋	VFP-6R-90FGA	1	卡扣式	1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω A-PET+ST-Poly	250×250×H18.3	-	匹配貼膜框架尺寸	高透明導電晶圓盒, 還可存放一枚 6 吋扣環
8 吋	ND-8	13	扭鎖式	＜1.0×10⁶Ω 導電 PP	322×322×H92	57	299±1
8 吋	VFP-ND-8R-90CA	1	卡扣式	1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω A-PET+ST-Poly	320×320×H20.2	-	匹配貼膜框架尺寸	高透明導電晶圓盒
12 吋	ND-12	13	夾扣式	＜1.0×10¹²Ω 防靜電 PC/ABS	φ430×H74	45	403±1
	NDM-12	13	卡扣式	1.0×10⁴Ω＜R＜1.0×10⁹Ω 導電 PP	430×430×H72	34	402+0.5/-1.5
	NDM-12M	25	卡扣式	1.0×10⁴Ω＜R＜1.0×10⁹Ω 導電 PP	430×430×H92.5	54.5	402+0.5/-1.5	即使在纖薄的設計中也能存放25 枚晶圓

ND系列

NDM系列

VFP系列 (單片)

產品編號		表面電阻	顏色 / 材料	特徵
PEA-□-350(Z1)		＜1.0×10¹²Ω	防靜電 PE 膜 (黑色 / 含防靜電材料)	獨特的凹凸紋與晶圓有良好的剝離性,低顆粒, 低離子污染, 低釋氣
CPS-□-350(Z2)		1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω	導電 PE 膜 (黑色 / 含碳黑)	獨特的凹凸紋與晶圓有良好的剝離性,低顆粒, 低離子污染, 低釋氣
ST-PET△×△-100		1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω	導電 PET膜	作為芯片托盤用的高透明導電隔離墊片,低顆粒, 低離子污染, 低釋氣
T-WSR200X		1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω	導電 PC (黑色 / ST-Poly)	保持晶圓外圍的非接觸式環形墊片,低顆粒, 低離子污染, 低釋氣

*□：晶圓尺寸, △：芯片托盤尺寸
尺寸可訂制 (詳情請查詢)

隔離墊片

PEA (Z1) 防靜電

CPS (Z2) 導電

ST-PET 導電

環形墊片

產品編號		表面電阻	構造	顏色 / 材料	特徵
MA-□PEAS-1/3/5/6/10 *1/3/5/6/10: 厚度		＜1.0×10¹²Ω	閉孔	防靜電 PE 發泡棉 (粉紅色 / 與防靜電膜覆合)	標準發泡棉, 低顆粒,低離子污染, 低釋氣
MA-□PESD-1/3/5/10 *1/3/5/10: 厚度		1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω	閉孔	導電 PE 發泡棉 (黑色 / 含碳黑)	潔淨發泡棉, 低顆粒, 低離子污染, 低釋氣
MA-□U-5/10/15/20 *5/10/15/20: 厚度		＜1.0×10¹²Ω	開孔	防靜電 PU 發泡棉 (黃色 / 含防靜電材料)	低離子污染

*□：晶圓尺寸
尺寸可訂制如配合扣環等 (詳情請查詢)

緩衝墊片

PEAS 防靜電

PESD 導電

PU 防靜電

晶圓尺寸	產品編號	表面電阻	顏色 / 材料	特徵
4 吋	VFS-4-6R-65A	1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω	導電 A-PET (灰色 / ST-Poly)	用於運送易碎和薄化的 4 吋化合物半導體晶圓. 使用 MA-6S
6 吋	VFS-6-8R-65A	1.0×10⁵Ω＜R＜1.0×10⁹Ω	導電 A-PET (灰色 / ST-Poly)	用於運送易碎和薄化的 6 吋化合物半導體晶圓. 使用 MA-8S

托盤

VFS 系列

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